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熱式氣體流量計

簡要描述：熱式氣體流量計用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

產品型號：5911DD4
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-05-28
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詳細介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	價格區間	面議
產品種類	差壓式	介質分類	氣體
產地類別	進口	應用領域	醫療衛生,環保,化工,石油,綜合

5911DD4熱式氣體流量計主要技術指標

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復精度	±0.2%F.S
5	響應時間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環境溫度	0~70℃
9	數字量	RS485 MODBUS協議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15

5911DD4熱式氣體流量計優勢：

其大的優點是能夠直接地測量質量流量，而其他的儀器只能測量體積流量V錐流量計是一種的差壓式流量計量裝置，它以的邊壁逐步收縮節流方式，一改傳統節流裝置的幾乎所有的缺點，是差壓流量計性成果St是雷諾數的函數，St=f（1/Re）質量流量控制器的原理是什么？質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成當了解了以上三個在選擇質量流量控制器需要關注的地方中會明白，好的質量流量控制器不是單單只能進行穩定工作就可以的而是在穩定工作的同時還能將事情做到接近完善的程度，只有這樣才能減小麻煩的發生率與出現情況的次數，也才能讓客戶進行平穩的收益與正常的工作流程不同類型的氣體用來沉積一個新的玻璃層如空氣、煤氣、氨氣等

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